潔凈室常用的儀器儀表

潔凈技術(shù)目前廣泛應(yīng)用在電子半導(dǎo)體、制藥設(shè)備、食品衛(wèi)生、生物科技、醫(yī)療等領(lǐng)域，隨著科技的進(jìn)步對(duì)潔凈室的要求也越來越高。從潔凈室的角度，說說自動(dòng)化儀表控制與監(jiān)測(cè)技術(shù)在潔凈室的應(yīng)用。   

現(xiàn)代潔凈室技術(shù)將潔凈室設(shè)計(jì)建造、潔凈室測(cè)試與檢測(cè)、潔凈室運(yùn)行分為三大范疇， 每一范疇內(nèi)都包含了自動(dòng)化儀表控制與監(jiān)測(cè)技術(shù)。凈化工程是系統(tǒng)性很強(qiáng)的一項(xiàng)工程，它包括凈化圍護(hù)結(jié)構(gòu)、凈化空調(diào)系統(tǒng)。

整個(gè)系統(tǒng)是否合理、是否最終能夠滿足空氣凈化級(jí)別和生產(chǎn)工藝所要求的各項(xiàng)指標(biāo)或參數(shù)，取決儀器儀表的檢測(cè)和自動(dòng)化程度的高低。對(duì)于整個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)來說，凈化空調(diào)機(jī)組和風(fēng)管是這個(gè)系統(tǒng)的重要組成部分。它的作用是對(duì)空氣進(jìn)行過濾、加熱或降溫，加濕或減濕后送至各需要的場(chǎng)所。但是送入房間的空氣是否達(dá)到了潔凈要求，空氣的溫度、濕度是否滿足生產(chǎn)要求，則需要由檢測(cè)和控制設(shè)備來實(shí)現(xiàn)。

1．潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)   

風(fēng)機(jī)的壓頭高，風(fēng)量大         

溫度，濕度控制精度高

正負(fù)微差壓控制精度高         

過濾系統(tǒng)效能要求高

變風(fēng)量調(diào)節(jié)要求高

要求具備高的穩(wěn)定性和可靠性   

針對(duì)于潔凈室工程的特點(diǎn)，在控制儀表和檢測(cè)儀表方面需要更高的可靠性能和穩(wěn)定性能，這樣不僅能達(dá)到工藝生產(chǎn)的目的，還能節(jié)能降耗，降低生產(chǎn)成本，保護(hù)環(huán)境。

2 潔凈室的微差壓的控制：

按工藝要求維持潔凈室與周圍空間一定的微小差壓，可正壓或負(fù)壓。微差壓可通過送風(fēng)口，回風(fēng)口或余壓閥來控制。    

壓差控制在凈化空調(diào)系統(tǒng)中是一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)。只有通過對(duì)凈化區(qū)域的壓差進(jìn)行控制，保證合理的氣流組織，才能達(dá)到凈化和工藝的要求。例如潔凈廠房必須保 持一定的正壓使外界未經(jīng)凈化的空氣不會(huì)進(jìn)人凈化區(qū)域，保證潔凈級(jí)別；并且通過對(duì)各凈化區(qū)域的不同的壓差控制，達(dá)到凈化分區(qū)的作用，在GMP中就要求不同凈 化級(jí)別區(qū)域的壓差應(yīng)得到控制不小于+5Pa。在生物安全潔凈室中，壓差控制更是保證安全防護(hù)屏障的關(guān)鍵手段，《生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范》要求必須使實(shí)驗(yàn)室的負(fù)壓梯度得到穩(wěn)定可靠的控制。因此對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)來說，壓差控制是非常重要的。    

根據(jù)《潔凈室設(shè)計(jì)規(guī)范》（以下簡(jiǎn)稱《規(guī)范》），潔凈室室內(nèi)壓力保持高于外部壓力，則為正壓潔凈室：反之稱為負(fù)壓潔凈室。正壓與負(fù)壓是相對(duì)而言的，一個(gè)潔凈室對(duì)大氣而言是正壓潔凈室，但對(duì)另外一個(gè)房間而言可能是負(fù)壓潔凈室?！兑?guī)范》規(guī)定不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不小于 10Pa。潔凈室內(nèi)走廊與非潔凈區(qū)至少維持30Pa正壓壓差。這種壓差建立的基本原理是送風(fēng)量大于回風(fēng)量、排風(fēng)量、滲漏風(fēng)量來實(shí)現(xiàn)的。

3 潔凈室的潔凈度控制：

潔凈度的控制主要通過過濾器和室內(nèi)需達(dá)到一定的換氣量來實(shí)現(xiàn)。過濾器的性能及長(zhǎng)時(shí)間的堵塞，會(huì)影響空氣的潔凈度。因此需要檢測(cè)過濾器的狀態(tài)，同時(shí)也要掌握風(fēng)機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)及各風(fēng)管的風(fēng)壓。